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1、千级无尘车间0.5微米的允许颗粒浓度值低于3520(pc/m3),5微米的允许颗粒浓度值低于293(pc/m3)。工厂实验室工程2、百级无尘车间0.5微米的允许颗粒浓度值低于35200(pc/m3),5微米的允许颗粒浓度值小2930(pc/m3)。实验室工程工程3、千级无尘车间0.5微米的允许颗粒浓度值低于352000(pc/m3),5微米的允许颗粒浓度值小29300(pc/m3)。
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