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1、千级无尘车间0.5微米的允许颗粒浓度值低于3520(pc/m3),5微米的允许颗粒浓度值低于293(pc/m3)。专业风淋室2、百级无尘车间0.5微米的允许颗粒浓度值低于35200(pc/m3),5微米的允许颗粒浓度值小2930(pc/m3)。风淋室工程3、千级无尘车间0.5微米的允许颗粒浓度值低于352000(pc/m3),5微米的允许颗粒浓度值小29300(pc/m3)。

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